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電容式薄膜壓力傳感器

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用于加工簡單的薄膜壓傳感器

來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發布時間:2014/11/12 22:38:28 | 瀏覽次數：

壓電薄膜片有很多不同尺寸和厚度可供選擇，可以加工成若干簡單的傳感器，或將整張薄膜制作成揚聲器。薄的薄膜片（28和52μm）最為常見，因為他們具有較高的電容和良好的機械品質。厚膜（110μm）用于耐用，或需要傳感器的厚度方向（d33）的應用。薄膜的金屬化方式包括銀墨和噴粉兩種。銀墨最適合機械應力的應用。使用銀墨金屬化可以按客戶要求定制，以方便接出引線。噴粉金屬化比較容易損壞，適用于信噪比要求電極產生的質量負荷非常低的場合。標準的噴粉材料是700Å銅和100Å鎳，將銅鎳合金變成銅和鎳，具有更好的導電性和抗氧化性。也可以按客戶要求采用其他的金屬（例如：金）進行金屬化。

TAG：壓電薄膜,PVDF,etouch

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