用于振動測量的電容式傳感器 非接觸精密電容式傳感器特征小，低質量的傳感器頭和快速的響應時間，所以他們非常適合測量各種高性能的機器，包括精密X-Y階段，機床振動，高速印刷設備和半導體制造設備。 理想的振動測量應用中，它是不可能的或實用的使用加速度計。 用于半導體制造的精密級，可以在晶片平面上測量級堆疊的振動，而不增加晶片卡盤的質量。 非接觸測量精密掃描級結構振動，以確定相對于系統光學的垂直振動效應。在評估掃描系統的結構剛度時，這為設計工程師提供了強有力的診斷工具。 電容式傳感器為高性能、主動隔振系統提供伺服系統反饋。 推薦產品 解調器傳感器系列應用 型號8810 2800系列振動測量，高達20千赫測量帶寬 型號6810 6000系列振動測量，高達100千赫測量帶寬
