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真空環境下精密位置傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發布時間:2018/2/17 19:44:30 | 瀏覽次數:

真空環境下精密位置傳感器的研制

精密位置傳感器,將在高真空或超高壓操作(超高真空)環境必須精心構建以低蒸汽壓材料以避免出氣。微觀意義上已經準備在真空環境操作的傳感器相當的經驗,請與您的具體要求與我們聯系。我們的探針已成功地應用于FIB(聚焦離子束)系統、掃描電子顯微鏡系統、光刻系統和各種大型實驗物理項目中。



線性位置測量范圍從10微米到4毫米。

玻璃金屬探針提供低釋氣和高穩定性。探頭體積小,以減少真空室的表面積。

真空制備的圓柱形探頭使用真空兼容的材料和粘合劑,并提供幾乎零的散熱探頭。

探頭有非磁性結構。

提供幾種風格的室壁的引線

真空制備的探頭可用于4800系列和8800系列精密位置傳感器。

 
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